应用工艺范围

                   

接合线、覆晶线等接合处的表面改性

部分封装后底部填充前的清洗

电镀前表面改质

LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的清洗

敏感度及变色性能

                   

适用于O2、N2、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等离子体的检测

也适用于UV清洗和臭氧清洗

                    

A型等离子体指示卡( O 2/Ar清洗用)
商品名	型号	敏感度	等离子体种类	耐热温度	产品尺寸	包装量	包装形式	有效日期
等离子处理指示卡(O2/Ar清洗用)	A1	高敏感	Ar、O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃或其他工艺气体	≦100℃	本体:20x70mm反应区:∮11mm	50条/包	铝箔袋 密封包装	十二个月
	A2	中敏感
	A3	低敏感
备注:背附不干胶/可配置二维码/可根据客户需要调整敏感度